一、計畫目標與研究議題：支持前瞻半導體研究所需關鍵設備自主研製及原型設備優化，範疇包括（但不限於）後摩爾時代次奈米矽基半導體、非矽基半導體及矽光耦合之關鍵設備、次系統或模組等。

二、申請資格：申請機構及計畫主持人須符合國科會補助專題研究計畫作業要點資格。

三、計畫期程：規劃二年期，自116年6月1日至118年5月31日；第二年計畫依審查結果核定，並得調整經費或終止。

四、補助類別及經費：申請類別擇一申請，類別一「創新關鍵模組或次系統」，每件每年補助上限新臺幣2,500萬元；類別二「完整創新設備」，每件每年補助上限新臺幣5,000萬元。計畫主持人及主要共同主持人研究主持費最高每月新臺幣3萬元，執行期間每人限支領1份。

五、申請期限及方式：

（一）分構想書及詳細計畫書兩階段。本構想書徵求階段，請依國科會專題研究計畫申請書格式線上申請，選擇「構想書申請案」及計畫類別「前瞻研究驅動之設備研發計畫構想書」，獲推薦者再依通知期限提出詳細計畫書。

（二）採單一整合型計畫，計畫主持人限申請1件，主要共同主持人限參與2件；每件須有至少3位、至多4位主要共同主持人。

（三）構想書徵求校內截止時間：115年12月21日（星期一）上午9時。

六、其他注意事項及詳細徵求資訊：

（一）申請作業流程及完整規定請參閱附件「徵求公告」。

（二）計畫構想書徵求說明會（線上）資訊 115年11月17日（星期二）下午 2時，請事先報名（報名網址：https://forms.gle/tVVsNnuWEERLf3Me7），會議視訊網址將於11月13日前e-mail通知。

（三）本專案計畫無申覆機制。

七、聯絡窗口：

（一）專案召集人：武東星教授049-291-0960分機2000、dsw@ncnu.edu.tw；共同召集人林俊源教授03-573-1653、ago@nycu.edu.tw；共同召集人林群傑教授03-890-5096、chunchieh@gms.ndhu.edu.tw。

（二）計畫規定疑義：國科會工程處承辦人陳淑鈞研究員02-2737-7775、scnchen@nstc.gov.tw。

（三）申請系統操作：國科會資訊系統服務專線0800-212-058、02-2737-7590至7592。